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Title :プラズマCVDによる高配向ダイヤモンド膜の合成
Title alternative :Synthesis of Highly Oriented Diamond Film by Microwave Plasma Enhanced CVD Technique
Authors :池田, 進
Authors alternative :Ikeda, Susumu
Issue Date :Mar-2001
Type Local :雑誌掲載論文
ISSN :09145400
Publisher :社団法人日本セラミックス協会
URI :http://portal.dl.saga-u.ac.jp/handle/123456789/118644
citation :日本セラミックス協会学術論文誌 : Nippon Seramikkusu Kyokai gakujutsu ronbunshi
AN10040326
109
1267
260
264
Citation :日本セラミックス協会学術論文誌 : Nippon Seramikkusu Kyokai gakujutsu ronbunshi Vol.109 no.1267 p.260 -264
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