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Title :Development of magnetized plasma sputtering source for effective target utilization with various magnet setups
Title alternative :ターゲット有効利用のための様々な磁石配置を用いた磁化プラズマスパッタ源の開発
Authors :Hossain, Md. Amzad
Authors alternative :ホッサイン, マハムムッドアムザッド
Issue Date :25-Sep-2018
Type Local :博士論文
URI :http://portal.dl.saga-u.ac.jp/handle/123456789/123867
Grant id :17201甲第632号
Date of granted :2018-09-25
Degree name :博士(工学)
Grantor :佐賀大学
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